HAIK.  最大の努力を払う時期である。手のみではなく腕もかかわる。腕を伸ばしてつかむ。   Bond  赤ん坊が座っている状況。子どもは誰かの支えによってお座りをしている。 英語表現 (10/17更新). b) 微細運動 (手を使う活動) 微細運動とは、腕と手を使った運動になる。 粗大運動は進化の過程をたどるが、これはそれとは関係ない。 理由は、微細運動を持っているのは人間のみだからである  物を離す動作は、生後一年くらいでできるようになる。ずっと離さないのではなく、自分から意図を持って離すことができるということである。例えば、指輪を持っている赤ちゃんがいるとしたら、何か他のものを与えると赤ちゃんはぽっと離す。, 生後一年になると、自分が離したいから離すということになる。しかし、幼い子どもは、離すタイミングが悪い時があり、あたかも物を投げているように見えるときがある。「物を投げてばかりいる。」と思いがちだが、タイミングがとれていないのかもしれないので、注意してやること。物を離すときに、自分が思っているところに離すのは、目と手の連携が取れたときである。, 10-12ヶ月にでてくるが、親指が向き合う状態になるので、かなり使えるようになる。また、人差し指のみは、かなり違った方法で使われる。それは、人を指し示すことに使う。, 「腕の協応」   b) 微細運動 (手を使う活動) 微細運動とは、腕と手を使った運動になる。 粗大運動は進化の過程をたどるが、これはそれとは関係ない。 理由は、微細運動を持っているのは人間のみだからである (11/15更新). ※2 エキシマレーザー希ガスやハロゲンの混合ガスを用いてレーザー光を発振させる装置。希ガスとしてはアルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)が、ハロゲンとしてフッ素(F)などが使われる。図2、3参照。, ギガフォトンは、レーザー光源開発のために2000年8月に設立された、株式会社小松製作所とウシオ電機株式会社との合弁会社です。小松製作所出身であるギガフォトン取締役専務執行役員の溝口 計さんは、「小松製作所では、1980年ころからKrFレーザー(248nm)の研究開発を始めました。ただ、当初はリソグラフィとは関係ないものでした。しかし、1980年代中頃から、世界中の大学・企業の研究者などが、KrFレーザーはフォトリソグラフィに使えるのではないか、と指摘し始めて、一気に研究開発が進みました」と振り返ります。, 1990年代後半に入ると、光源開発の最先端はKrFレーザーから波長193nmのArFレーザーに移っていました。ここで、半導体産業で遅れをとったアメリカが半導体産業で次の主導権を握るため、さらに波長の短いF2レーザー(157nm)の開発を目標に掲げ、産・学・国立研究所の協力で積極的に開発をすすめました。それに対抗する形で、日本でも小松製作所などが1998年からF2レーザー開発をスタートさせました。, さらに2000年4月からNEDO「F2レーザリソ技術の開発プロジェクト」(2002年度まで)が始まり、レーザー光源メーカーの小松製作所とウシオ電機、ステッパー(縮小投影型露光装置)メーカーの株式会社ニコン、キヤノン株式会社、東京大学、九州大学、および主要半導体メーカがF2レーザーの開発に加わりました。ついで2000年8月にはギガフォトン社が設立されました。, ところが、その矢先の2001年、ニコンが独自にF2レーザーを超える新技術を開発した、と発表しました。その新技術は、「ArF液浸技術」で、屈折率という光の性質を利用したものでした。, 光は真空中を光速で移動しますが、ガラスや水を通過するときには速度が落ちます。速度は単位時間(秒)あたりの距離(メートル)ですから、それが落ちるということは時間あたりの距離が縮まる、つまり波長(ナノ・メートル)が短くなることを意味します。, ニコンは、加工するシリコンウエハを、純水の中に沈め(液浸)、そこにArFレーザーをあてることで(図3)、134nm相当のリソグラフィ性能が出せるようにしたのです。, これを知ったギガフォトンでは、F2レーザー開発を一旦断念※3し、液浸用ArFレーザーに注力することにしました。「ただ、F2の開発は無駄ではなかった」と溝口さんは言います。液浸では厳しい解像力が要求され、レジスト感度が下がるなどの課題があり、それを克服するために液浸用ArFレーザーにも高出力化、高いスペクトル純度などを要求され、技術的により困難なF2レーザー開発で得た様々な先端技術が役に立ちました。すなわち、2003年度のNEDOプロジェクトで達成した高出力化、短波長化に欠かせないインジェクションロック方式(ブレークスルー参照)などです。おかげで高性能ArF液浸リソグラフィ用のレーザーを開発することができ、後のシェア向上の下地となりました。, 図3 液浸技術の模式図シリコン・ウエハを媒質(純水、屈折率n=1.44)に沈めたところにレーザー光を当てる。, ※3 F2レーザー開発F2レーザー開発は、技術的には東京大学物性研究所の渡部俊太郎教授、九州大学大学院システム情報科学研究院の岡田龍雄教授の協力で成功している。波長幅0.2pm、発振周波数4kHz、出力20Wを達成。これは波長157nmの領域のレーザーでは世界初の快挙である。, レーザー波長が短いほど微細加工に有利なのですが、もう一つ重要な性質として波長幅があります。仮に10nmの光源があったとしても、実際には8nmから12nmに広がった光であれば、誤差が大きすぎてきれいに加工できません。波長の幅をいかに狭くするかがポイントなのです。, ギガフォトンでは、レーザーの波長幅を狭くするため光源に特殊な分光器を使っています。光源から出た光を分けて、必要なものだけ取り出して使うのです。ところが、プリズム、回折格子、ミラーなどの分光素子はCaF2などの材料を使った特注品で、これはレーザー出力が20W以上になると劣化してしまいます。エキシマレーザーの高出力化は工程時間の短縮につながるため重要な性質で、分光器によって出力の上限が決められてしまうのは大きな問題です。, そこで、分光器を使いつつ高出力のレーザーを発振できるよう、インジェクションロック方式を採用することにしました。インジェクションは注入、ロックは波長と位相※4の固定という意味で、赤外や可視では一般的ですが、深紫外領域のレーザー装置では世界初の試みでした。この方式は、第1段のレーザーで約1Wという低出力ですが波長の幅が狭いレーザーを作り、それを第2段のレーザーで増幅させて高出力化するものです(図4)。インジェクションロックの開発に成功した結果、193nmのArFレーザーにおいて、実測で0.25pm(ピコメートル:ピコは1兆分の1)という狭い波長幅を達成することができました。, 図4 インジェクションロック方式 微細加工するためには、レーザー波長をとにかく短くする必要があるのです。 数十nm(ナノメートル:ナノは10億分の1)の"溝"を作る微細加工を目指して、多くのメーカーがレーザー光源の開発にしのぎを削ってきました。 このページでは、乳児の運動について考えたいと思います。もちろん、発達に個人差や多少前後することはありますが、運動の発達の段階は世界中の子ども達に同様に見られるので、参考にしていただきたいと思います。, 胴体と四肢の大きな筋肉の供応を意味し、これらの運動は空間の中で動くための姿勢――平衡、バランス、移動を意味します。粗大運動は進化の過程をたどります。, 運動の発達について知りたい方が多いようなので、もう少し詳しく書いてみたいと思います。, 細胞から伸びている紐のようなもの。ニューロンは神経細胞1個。この中を情報が伝わっていく。ニューロンは、環境から体の中へ、体の中から環境へメッセージを運ぶものである。, ニューロンというのは、生まれたときから持っている。髪の毛、皮膚のようにあとから増殖するものではない。神経細胞と同じように核を持っていて、紐が付いている。短い木のような枝で、樹状突起を持っている。この長い紐のようなものを「軸索(axson)」という。その軸索は、電気のコードのようなもので、周りにゴムのようなものが付いていないと電気が放出されてしまう。子どもが生まれた時には何も周りがコーティングしていないので情報が流れ出てしまう状況がおきている。だったら人間の子どもはなぜコーティングができるまで母親のお腹の中にいないのか?, 人間は大きな脳を持っているからその時期に出てこなければならない。人間は大きな脳を支えるための大きな頭がいる。産道を出れるくらいの大きさで出てこないといけない。自然の流れとして、どちらを選択するか。つまり、頭の大きさを優先するか、コーティングなのかということである。, 随意運動をするために、情報が行わなければならない。そのために、この軸策にミエリンということをコーティングすることになる。ミエリンとは、物質的には脂肪のようなものである。ミエリンが軸索をコーティングすることにより情報が伝わり、いろいろな運動ができるようになる。, 子どもが生れた時すでにミエリン化が起こっている部分もある。子供は3つの基本的機能をコントロールすることができる。, (1) 泣くこと…必要があると泣き、それを通して心を伝えることができる。 「微に入り細にわたる」と「微に入り細をうがつ」の意味でお悩みなら!無料日本語学習サイト『毎日一問!日本語ドリル』が、あなたの語彙に関する疑問にお答えします。 英語表現 minute, 国語辞書で調べる デジタル大辞泉 - 微細の用語解説 - [名・形動]1 きわめて細かく小さいこと。転じて、些細(ささい)なこと。また、そのさま。「微細な破片」「微細にわたる説明」2 「微賤(びせん)」に同じ。「微細の身」 minute, 国語辞書で調べる 微細の類語(同義語・類義語)や似た意味合いを持つ言葉・別の表現方法を掲載。そのほかに例文の英訳など。 ... 特に、意味の違いにおいて微小に正確な ... 細微 極微 極小 微小 微細 : 微細, ウイルスと細菌と真菌の違い 大幸薬品のHPから ウイルスの大きさは、数十nm~数百nmで、 一般的な生物の細胞(数〜数十μm)の100〜1000分の1程度である。 マイクロ(μ):100万分の1を表す語 デジタル大辞泉 - 細微の用語解説 - [名・形動]1 非常に細かいこと。また、そのさま。微細。「細微な点まで観察する」2 身分が卑しいこと。微賤。 "../images/eyecatch/photo-7.png", and 2016-2020 Francis Bond, Takayuki Kuribayashi, gooIDでログインするとブックマーク機能がご利用いただけます。保存しておきたい言葉を200件まで登録できます。, 検索ランキング 一問一答のクイズ形式で日本語の実力を今すぐチェック!敬語、漢字、文法から、ことわざ、慣用句、外来語まで、バラエティ豊かな問題の数々をお楽しみください。, ≪ 第47問 「寧日」の意味と読み方, 第49問 「汚名返上」と「名誉挽回」の意味の違いと使い方 ≫, var imglist = new Array(, var selectnum = Math.floor(Math.random() * imglist.length); 「微に入り細にわたる」と「微に入り細をうがつ」の意味, 第47問 「寧日」の意味と読み方, 第49問 「汚名返上」と「名誉挽回」の意味の違いと使い方. ※5 スパッタリング加速されたイオンを材料物質に衝突させ、空間内に放出された材料で、基板上で薄膜を形成させる薄膜製造技術, 製造されたウエハを、レーザーや砥石を用いてチップの形に切り離して、チップ上の端子とパッケージの端子を、細い金属(金やアルミ)線で接続させます。さらに、衝撃や水分などから守るため、熱硬化性樹脂で固めます。これで完成。フォトリソグラフィが考案された当初は、ウエハ表面にマスクを密着させてレーザーを当てる等倍露光が行われました。しかし、微細化が進むにつれてマスクを精度良く作ることが困難になってきたため、マスクは大きいままで、集光レンズを使ってウエハ上にイメージを縮小転写する縮小投影露光に変わりました。, お読みいただきありがとうございました。ぜひともアンケートにお答えいただき、お読みいただいた感想をお聞かせください。いただいた感想は、今後の連載の参考とさせていただきます。. 微細化技術は,半導体製品の高集積 微細化と新材料の開発 図1.itrsの微細化ロードマップと東芝の実績-ロードマップでは年率およそ85%に微細化する ことが求められており, 当社はロードマップに沿った微細加工技術を確立してきた。 No reproduction or republication without written permission. 微細加工するためには、レーザー波長をとにかく短くする必要があるのです。 数十nm(ナノメートル:ナノは10億分の1)の"溝"を作る微細加工を目指して、多くのメーカーがレーザー光源の開発にしのぎを削ってきました。 (2) 吸うこと…母乳を吸うこと。  a、空間にぴったり合わせる。(例えば、パズルなど) 製造プロセスが微細化する事で、トランジスタのサイズが小さくなり、同じサイズの半導体チップ上により多くのトランジスタを集積できます。 トランジスタが増えた事により、CPU の機能の強化、または機能を追加して多機能化が可能となります。 1 馬車や農機などの車輪が動かないよう、所定の穴に指して固定するピン。2 (比喩的に)物事の要(かなめ)。... 「コトバンク」は朝日新聞社の登録商標です。「コトバンク」のサイトの著作権は(株)朝日新聞社及び(株)VOYAGE MARKETINGに帰属します。 英語表現 (10/17更新).  人間にとって重要である。コーヒーカップのつまみ方。小さいものをつまむつかみ方である。, 3-6ヶ月に与えられる玩具は、はさみのような動作をするものがある。つかんで持ち上げるものである。やっているうちに2つの指で掌握できるようになる。, 運動の洗練は、すべて能動的体験により与えられる。これは私たちの責任であるので、整えられた環境の中で提供していかなければならない。, 「物を離す」 ①かすか。わずか。ほのか。「微笑」「微風」 ②小さい。細かい。弱い。「微細」「微小」 ③ひそか。ひそかに。「微行」 ④おとろえる。なくなる。「衰微」 ⑤いやしい。とるに足りない。「微賤(ビセン)」 ⑥自分のことをへりくだって用いる語。 私たちの身の回りには、コンピューター(半導体集積回路)が内蔵された製品があふれています。生活をより便利にサポートしてくれるこれら家電やIT機器は、常に高性能化を求められています。コンピューターの高性能化は、心臓部のマイクロチップ(半導体集積回路)の微細化とほぼ同義です。微細化には、より細い配線を半導体内部に作る必要があり、そのためには超極細の溝を刻む、「フォトリソグラフィ」という技術が欠かせません。そして、フォトリソグラフィの技術の要となるのがレーザー光源です。フォトリソグラフィ用のレーザー光源の開発競争で勝ち残ったメーカーは、世界でたったの2社。その一つが、日本のギガフォトン社です。, めざましい処理能力の進歩を遂げるコンピューター。その処理能力の進歩に合わせて次々と提供されるIT分野の新サービスや3D映画を初めとするバーチャル映像。そうした流れを支えているのが、コンピューターの心臓部であるマイクロチップ(半導体集積回路)の微細化です。回路が微細になればなるほど、信号伝達の高速化や省エネ化、低価格化を図ることができます。, マイクロチップは、ウエハとよばれる円板状のシリコン半導体の上にパターン(配線)を作り込んで製造されます。つまり微細化のためには、より細かいパターンを作る加工技術が必要となります。半導体産業には集積密度が約18カ月で2倍になるという「ムーアの法則」※1があり、微細加工もその法則に従って日々進歩してきました。, 現在、微細加工技術の主役は「フォトリソグラフィ」です。これは、シリコン・ウエハにレーザー光を当てて溝を作る技術です。ウエハの表面に感光性の物質「フォトレジスト」を塗り、パターン状に穴が空いた「フォトマスク」を被せます。そこにレーザーを当て(露光)レジストを感光させ現像すると、露光した部分は削られて露光しない部分は残り(レジストの性質によりまたは逆)、パターンが形成されます(なるほど基礎知識参照)。, フォトリソグラフィによる微細化では、露光光源であるレーザーの波長を短くする必要があります。レーザーは光であるため、原理的には波長に相当する幅の溝しか作れません。微細加工するためには、レーザー波長をとにかく短くする必要があるのです。, 数十nm(ナノメートル:ナノは10億分の1)の"溝"を作る微細加工を目指して、多くのメーカーがレーザー光源の開発にしのぎを削ってきました。その結果、レーザー光源開発のトップ企業となったのが、ギガフォトン株式会社です。, 波長248nmのKrFエキシマレーザー※2を使用した場合、他の加工技術と組み合わせて180〜90nmの"溝"まで作ることができました。ギガフォトンではこれを、波長193nmのArFエキシマレーザーを利用して、90〜32nmまで微細加工できる技術を開発しました。"溝"幅が、原子数百個分という超極細加工技術です。, ※1 ムーアの法則集積回路におけるトランジスタの密度が18~24カ月ごとに倍になるという経験則。集積密度はコンピューターの演算速度に直結する。そのため、演算速度が18~24カ月ごとに倍になるとも表現される。 Bond 英語表現 "../images/eyecatch/photo-4.png", "../images/eyecatch/photo-2.png", document.write(output); "../images/eyecatch/photo-1.png", (10/17更新). b) 微細運動 (手を使う活動) 微細運動とは、腕と手を使った運動になる。 粗大運動は進化の過程をたどるが、これはそれとは関係ない。理由は、微細運動を持っているのは人間のみだからである。最新の進化の形ということになる。 手の運動について   a → b → c と、進んでいく。, Copyright © 2020 operapione All Rights Reserved.

 3番目 「サルの手把握」  and 2016-2020 Francis Bond, Takayuki Kuribayashi, gooIDでログインするとブックマーク機能がご利用いただけます。保存しておきたい言葉を200件まで登録できます。, 検索ランキング 2‐3ヶ月  頭のところまで持ち上げられるようになる。 日本 JAPAN operapione, powered by HAIK 7.3.0 based on PukiWiki 1.4.7 License is GPL. minute, 国語辞書で調べる また、当サイトで提供する用語解説の著作権は、(株)朝日新聞社及び(株)朝日新聞出版等の権利者に帰属します。 1ヶ月くらい経つと、上のほうから始まる。目――焦点が当てられるようになってくる。   (1) 二つの腕で同じ動き (2) それぞれが反対の動きができる  がある。 2ヶ月くらい経つと、頭を持ち上げる。首くらいまでミエリン化が進む。  12ヶ月である。両手が違うことができる。ひとつでもうひとつのこと、他でもうひとつのことができる。, 歩行ができると抱くこともしやすい。歩きながら何かを持ったりして環境の中に積極的に参加していくようになる。, 腕の動きに関しては、  いくつかの機能がある。まず、, (1)は、腕のミエリン化ができるようになると出来る。モビールを吊るしてやる時期に入る。腕の調整はもう少しあとになる。, 新生児は、物を置いてやるとそれをつかむ、握る、をする。握るといっても、色々あり、段階がある。観察のとき、子どもがどうした握り方をしているか観察して下さい。この、握り方は区別がしにくい。医者や精神科の医者で無いとなかなか区別ができない。しかし、いつも観ているうちに判ってくる。, Ⅰ番初め「かき集め的把握」  三角の教具が付いていて、それに子どもがつかまって立つ器具があるが、完全に立てるわけではない。, 9ヶ月になると這うことができるようになる。ようやく哺乳類に近づいたことになる。“這う”は、動きの中でも独立したものである。這い這いした後、本当に立てるようになる。そして、つかまり立ちをするようになる。伝い歩きができるようになると、霊長類まで進化が進んだことになる。伝い歩きをするためには、バー(完全に安全であるもの)やスツール(角がないもの)が必要となる。そのうちに、家中を伝い歩くようになる。, まさしく、這い這い、つかまり立ち、つかまり歩きの時期が、安全を確保しないといけない時期である。, ※ カーテンも危なくなる時期である。見直さないといけない。  2番目 「手の平で把握」 

赤ん坊は、必ず一日一回は腹ばいにしないといけない。(子ども次第だが、嫌がる子供にはおもちゃを与えたりして、できるだけ長くしてやる。指して、次第に長くなるようにする。) できない時期にも腹ばいにする。, 子供の中には、腹ばいにすると嫌がる子どもがいる。理由は①周りがよく見れない。②保つことは結構努力が要る。しかし、腹ばいは非常に重要である。お座りをするための背筋を鍛えるという意味でも大変重要である。, 〔6-7か月の子ども〕 微細(びさい)の類語・言い換え。[共通する意味] ★非常に細かいさま。[英] minute[使い方]〔微細〕(名・形動) 微細な生物を観察する 微細な点まで言及する〔細微〕(名・形動) 細微な事柄まで調べ上げる 細微末節[使い分け] 「微細」の方が、一般的。 英語表現 (3) 飲み込むこと…吸った母乳を飲み込むことにより、生命を維持することができる。, そして、感覚的ニューロンについても、生まれたときに イメージを認識する・味覚・聴覚 は、ミエリン化している。随意運動とは異なる。, 運動系が感覚形に比べ時間がかかる。というのは、感覚は外から脳に伝わってくるもので、随時運動は感覚から脳に伝達され、脳から体の各部分に伝達されないといけないからである。, 体の中でミエリンは順番に従ってミエリン化される。まず頭から始まって体の下のほうへ。また、体の中心から始まって外側に発達していく。このミエリン化は、子どもが生まれてから始まり、1歳を過ぎた頃に完成する。このミエリン化が進むことにより、子どもの随意運動はコントロールされてくる。このミエリン化も、内なる教師によりスケジュールを追ってやる作用があり、6ヶ月になるとこういうこと、9ヶ月になるとこういうこと、といったふうに時間的順番を持っている。, 子どもが生れた時、余り動けない。(不随意運動という)  「抱く」 微細 「高スループット露光装置用高出力レーザ実用化研究開発プロジェクト」(2002~2003年度).  感覚の状況を見て、家にある揺れる椅子はよくないことに気付いた。 ① 非常に細かいこと。きわめて小さいもの。転じて、ほんの少しばかりのこと。些細な事柄。また、そのさま。みさい。, 〘名〙 (形動) (「み」は「微」の呉音) ひじょうに細かいこと。きわめて小さいこと。転じて、些細なこと。取るに足りないこと。また、そのさま。びさい。〔秘蔵宝鑰(830頃)〕, (明日へのLesson)第4週:キャンパス 実験で学ぶデータサイエンス 河本薫さん. 投稿日: 2020年10月14日. デジタル大辞泉 - 細微の用語解説 - [名・形動]1 非常に細かいこと。また、そのさま。微細。「細微な点まで観察する」2 身分が卑しいこと。微賤。 微細(びさい)の類語・言い換え。[共通する意味] ★非常に細かいさま。[英] minute[使い方]〔微細〕(名・形動) 微細な生物を観察する 微細な点まで言及する〔細微〕(名・形動) 細微な事柄まで調べ上げる 細微末節[使い分け] 「微細」の方が、一般的。 第1段階では、左下の分光器で波長ごとに分けて、必要な波長幅の光を中央のレーザーに戻す。第2段階では、それを増幅して高出力レーザーにする。, 波長の短いレーザー光源を開発するのは、容易なことではありません。そこでステッパーメーカーは、液浸のように露光工程での技術を向上させることで、レーザー波長を変えずに、実効的に細い溝を作る方針をとりました。そこで開発された新しい技術が、ダブルパターニングとレジストのk1ファクターという微細化特性値の最小化です。ギガフォトンは後者の改善に貢献しました。, ダブルパターニングとは、露光を2回行う方法です。1回目の露光で波長相当のパターンを作ったあと、ウエハを半波長分ずらして再び露光します。原理的には波長の1/2に相当するパターンが描けるのですが、実際には位置決めが非常にシビアなため、実現は相当難しいものでした。, 図5 ギガフォトン社製品のラインナップムーアの法則をもとにしたロードマップに即したスピードで、レーザー光源開発を続けている。, k1ファクターとはレーザー光がウエハに当たり、波長の何分の1までの像が作れるかを示す値です。縮小投影レンズの性質とレーザー光の波長分布により決まる焦点面での光の分布特性と、レジストの感度特性から決まります。これをたとえば0.5にできれば、波長の1/2に相当するパターンが描けます。ギガフォトンはレーザーのスペクトル分布を精密に制御することで、焦点面での光の分布を安定化し、低いk1ファクターのプロセスを実用化することに貢献しました。, ArF液浸リソグラフィでは134nm相当の分解能があるので、この2つの技術を組み合わせると、理論上は波長の1/4に相当するパターンが仕上がり、32nm相当の解像力になります。ほかにも、インジェクションロック方式の開発(ブレークスルー参照)など、あらゆる技術向上をはかりました。その結果、レーザー光源開発のトップを走ることができているのです(図5)。, ここまで到達するには相当な開発費がかかりましたが、「この研究を続けられたのはNEDOプロジェクトのおかげです。これがきっかけになって、あまり開発費を気にせず積極的に技術開発に取り組むことができました。NEDOプロジェクトの支援がなければ、わが社のArFレーザーは世に出ていなかったと思います」と、溝口専務は口にします。, ArFレーザー光源メーカーは、現在、世界で米サイマー(Cymer)社とギガフォトン社しかありません。1990年代から国内外で多くのメーカーが開発に乗り出しましたが、競争の末に生き残ったのがこの2社なのです。ギガフォトンのArFエキシマレーザー光源の世界シェアは、2003年以前は10%程度でしたが、その後、着実にシェアを伸ばし、2008年に50%に到達し、2010年には約60%を見込んでいます。地域的なことから、サイマーは欧米に強く、ギガフォトンはアジアに強い特徴があります。納入先はニコン、キヤノンなどのステッパーメーカーで、設立してからの通算販売台数は約700台です。, 製品開発も売り上げも順調にきている理由を、溝口専務は「NEDOプロの垂直統合的なところが良かった」と言います。「F2レーザーリソ技術の開発」には、光源メーカーだけでなくステッパーメーカーが入っていました。さらに、プロジェクトの中には総合調査研究というテーマもあり、それにはステッパーのユーザーである国内主要半導体メーカーも関わっていました。ギガフォトン執行役員経営企画室長の佐藤日出一さんが、「ニーズからシーズまですべて含まれていた」というように、川上から川下までのユーザーの声を開発に反映できる体制をNEDOが考えて構築したことが大きかったと考えています。, また佐藤室長は、自社製品がレーザー光源の世界標準となっている現状に「"色"がないのが良い結果を生んだ」と言います。「光源、ステッパー、半導体の各企業が組んで独自仕様の製品を出すことも可能だったと思います。しかし、ギガフォトンはステッパーメーカーのどことも組まなかったため、どのメーカーにも適合する製品を作り上げることができました」, ギガフォトンという社名は、光子を意味するフォトンの上に、コンピューターが近い将来(設立の2000年から見て)到達するビット数や半導体産業で一般的に必要とされる精度109などを意味するギガを冠したものです。しかし2010年に入った現在、新たな、そしておそらく究極の目標が見えてきました。, マイクロチップなどの半導体デバイスの微細化は、理論的に原子数十個に相当する数nmまでが可能であると考えられています。この最終目標に到達できるとされるのが、13.5nmのEUV(極端紫外線)光源を使ったEUVリソグラフィです(図5参照)。, 液浸やダブルパターニングを組み合わせれば、原理上は波長3.4nm相当のパターニングが可能です。ムーアの法則をもとにしたロードマップによれば、2013年までにEUV光源を開発する必要があります。すでにウシオ電機、コマツ、ギガフォトンが参加するNEDOプロジェクトにて研究開発が進んでいます。溝口専務は「開発費がArFの何倍もかかりそうだ」と言いますが、その開発費に見合う性能を持ったEUV光源を開発してくれるに違いありません。(2009年12月取材), 溝口専務は小松製作所に入社後、約30年もの間、レーザーの研究開発に携わってきました。「ずっとレーザーに関わってこられたのは、技術者としては幸せだったと思います」 KrF,ArF,F2レーザー開発の中心的役割を担ってきた溝口専務ですが、当初たくさんあった競合他社が、いま世界で2社しかいなくなった状況を振り返り、「開発を始めたときは、最後まで生き残れるとは思わなかった」と言います。しかし、開発を完了させた現在の心境を「達成感よりも、まだまだこれからという気持ち」と語ります。それは次に究極の難関、EUV光源が控えているからです。「ArFで終わりだと思っていたんですがねえ…。でもEUVを実用化するまでは、まだまだ走るのをやめられません」, マイクロチップが、CPU、携帯電話部品、フラッシュメモリーなどの最終製品に至るまでには、多くの工程を必要とします。, マイクロチップの母材となるウエハの原料には、主にシリコン半導体が用いられます。シリコンは単結晶であることが求められ、不純物の少なさ、結晶の欠陥の少なさ、大きさが重要となります。, ウエハにドープ物質を打ち込んで不純物濃度をコントロールし、半導体として機能させます。, 感光性の物質「フォトレジスト」を塗り、パターン状に穴が空いた「フォトマスク」にレーザーを当て、その光をレンズで転写して露光しパターンを形成します。, 絶縁膜を生成してゲート(端子)を作り、金属スパッタリング※5によって配線を作ります。(続けてシリコンの堆積、(2)、(3)の作業を繰り返し行い、多層のマイクロチップを作ることも可能です)

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